新型MEMS技術(shù)可適用于非常廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,例如手機(jī)、消費(fèi)與游戲類(lèi)產(chǎn)品、玩具、汽車(chē)、機(jī)器人、工業(yè)與醫(yī)療等使用三軸加速度計(jì)(3D accelerometers)、或陀螺儀。同一個(gè)工藝可以生產(chǎn)單軸與雙軸的加速度計(jì),而加速度計(jì)和陀螺儀亦可在同一個(gè)工藝中整合在單一芯片上,以實(shí)現(xiàn)六自由度的慣性感測(cè)單元。
X-FAB MEMS 產(chǎn)品線經(jīng)理Iain Rutherford表示:“X-FAB開(kāi)放性平臺(tái)的制程開(kāi)啟MEMS產(chǎn)業(yè)的新世代。我們正在改寫(xiě)歷史,把‘一個(gè)產(chǎn)品、一個(gè)工藝’的限制轉(zhuǎn)換到開(kāi)放性的平臺(tái),此方法給予任任意客戶(hù)使用世界級(jí)質(zhì)量的工藝做多領(lǐng)域的應(yīng)用開(kāi)發(fā),此舉能讓我們的客戶(hù)快速地實(shí)現(xiàn)他們的目標(biāo)?!?
X-FAB的新技術(shù)具備高可靠度、單晶硅的慣性質(zhì)量(inertial masses)與drive-combs、特有的埋層連接(buried contact)技術(shù)讓單一的金屬層可以完成復(fù)雜的金屬連接、還有低寄生電容和EMI防護(hù)。三軸慣性傳感器的新工藝補(bǔ)足了X-FAB于2003年所建立并已被客戶(hù)使用的單軸/雙軸慣性傳感器、壓力傳感器、與紅外線感應(yīng)熱電堆(thermopile)的開(kāi)放平臺(tái)技術(shù),其中還包含現(xiàn)成的2G、10G、100G的加速度計(jì)IP。為了保證該技術(shù)的特性、穩(wěn)定與高良率,X-FAB對(duì)該三軸慣性傳感器的技術(shù)進(jìn)行一步一步地質(zhì)量驗(yàn)證。X-FAB所有的生產(chǎn)工廠均通過(guò)ISO9001與ISO TS16949認(rèn)證。
網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)
X-FAB 將在2012年9月25、26日舉辦一場(chǎng)慣性傳感器新工藝的網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)。 http://www.xfab.com/ch/main/about-x-fab/events/eventsdetail/article/1088/25-26-sep/。
解決方案
該技術(shù)現(xiàn)在可提供工程服務(wù)與早期的原型設(shè)計(jì),所有的質(zhì)量驗(yàn)證與設(shè)計(jì)規(guī)則將于2013年初完成并提供。