前不久，勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的一個(gè)團(tuán)隊(duì)打破了物理極限，采用碳納米管復(fù)合材料將現(xiàn)有最精尖的晶體管制程從14nm縮減到了1nm，讓摩爾定律的發(fā)展前景看到了新的希望。最近，這方面的研究又有重大突破。
根據(jù)EE Times報(bào)道稱，美國(guó)能源部（DOE）下屬的布魯克海文國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的科研人員日前宣布創(chuàng)造了新的世界記錄，他們成功制造了尺寸只有1nm的印刷設(shè)備，使用還是電子束印刷工藝而非傳統(tǒng)的光刻印刷技術(shù)。
(Source: Brookhaven National Laboratory)
這個(gè)實(shí)驗(yàn)室的科研人員創(chuàng)造性地使用了電子顯微鏡造出了比普通EBL（電子束印刷）工藝所能做出的更小的尺寸，電子敏感性材料在聚焦電子束的作用下尺寸大大縮小，達(dá)到了可以操縱單個(gè)原子的地步。他們?cè)斐龅倪@個(gè)工具可以極大地改變材料的性能，從導(dǎo)電變成光傳輸以及在這兩種狀態(tài)下交互。
(Source: Brookhaven National Laboratory)
他們的這項(xiàng)成就是在能源部下屬的功能納米材料中心完成的，1nm印刷使用的是STEM（掃描投射電子顯微鏡），被隔開(kāi)11nm，這樣一來(lái)每平方毫米就能實(shí)現(xiàn)1萬(wàn)億個(gè)特征點(diǎn)（features）的密度。通過(guò)偏差修正STEM在5nm半柵極在氫氧硅酸鹽類抗蝕劑下實(shí)現(xiàn)了2nm分辨率。
(Source: Brookhaven National Laboratory)
這些技術(shù)聽(tīng)上去激動(dòng)人心，不過(guò)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的技術(shù)并不代表能很快商業(yè)化，布魯克海文實(shí)驗(yàn)室的1nm工藝跟目前的光刻工藝有很多不同，比如使用的是電子束而非激光光刻，所用的材料也不是硅基半導(dǎo)體而是PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）之類的，下一步他們打算在硅基材料上進(jìn)行嘗試。
這項(xiàng)研究發(fā)布在《納米快報(bào)》上，項(xiàng)目資金由美國(guó)能源部科學(xué)辦公室提供。
