近日，日本對(duì)韓國(guó)進(jìn)行出口限制，光刻膠材料赫然在列。據(jù)了解日本作為光刻膠材料大國(guó)，占據(jù)了全球9成左右的光刻膠市場(chǎng)份額。而目前在高端芯片制造過(guò)程中KrF、ArF光源下使用的光刻膠也基本被美日企業(yè)所壟斷。此后，日本銷(xiāo)往韓國(guó)的光刻膠將有三個(gè)月的審核期，而韓國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的材料庫(kù)存不夠三個(gè)月的使用量。在這期間，美系光刻膠產(chǎn)品能否解決韓國(guó)半導(dǎo)體廠商的燃眉之急？
韓媒3日?qǐng)?bào)道，韓國(guó)政府就日本限制對(duì)韓出口的應(yīng)對(duì)方案作出回應(yīng)，將計(jì)劃每年投入1萬(wàn)億韓元(約合人民幣58.8億元)，推進(jìn)對(duì)半導(dǎo)體材料、零部件和設(shè)備的研發(fā)，正在對(duì)此進(jìn)行可行性調(diào)查。
不過(guò)，光刻膠是國(guó)際上技術(shù)門(mén)檻最高的微電子化學(xué)品之一。其行業(yè)集中度高，龍頭企業(yè)市場(chǎng)份額高，行業(yè)利潤(rùn)水平高，且暫無(wú)潛在替代產(chǎn)品。又因?yàn)?，作為半?dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)的上游產(chǎn)品部分，光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量直接影響下游芯片產(chǎn)品的質(zhì)量，因此下游行業(yè)企業(yè)對(duì)光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量和供貨能力十分重視，上下游的合作模式比較穩(wěn)固，新的供應(yīng)商較難加入供應(yīng)鏈。
另外，隨著半導(dǎo)體IC的集成度日漸提升，對(duì)光刻技術(shù)的精密性要求也不斷嚴(yán)格，半導(dǎo)體光刻膠也通過(guò)不斷縮短曝光波長(zhǎng)的方式來(lái)提高極限分辨率。據(jù)了解，光刻膠的曝光波長(zhǎng)由寬譜紫外向g線-i線-KrF-ArF-EUV(13.5nm)的方向移動(dòng)。當(dāng)前，半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)對(duì)于g線和i線光刻膠使用量最大，KrF和ArF光刻膠技術(shù)被日本和美國(guó)企業(yè)壟斷，韓國(guó)和中國(guó)作為追趕者正在積極研發(fā)ArF193nm光刻膠技術(shù)。
在全球光刻膠市場(chǎng)，日本占有非常重要的位置。全球?qū)＠植记笆墓荆?成是日本企業(yè)。其中，日本JSR和東京日化可量產(chǎn)市面上幾乎所有的光刻膠產(chǎn)品（EUV光源用光刻膠正在研發(fā)中），信越化工、富士電子、住友化工在當(dāng)下主流的半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域也有較突出的表現(xiàn)。
在韓國(guó)，東進(jìn)化學(xué)、LG化學(xué)、錦湖化學(xué)、COTEM等也生產(chǎn)光刻膠材料，錦湖化學(xué)為SK海力士半導(dǎo)體供應(yīng)ArFDry產(chǎn)品以及部分ArF Immersion產(chǎn)品，東進(jìn)化學(xué)在半導(dǎo)體領(lǐng)域仍只供應(yīng)KrF以下等級(jí)部分產(chǎn)品。實(shí)際上，韓國(guó)本土光刻膠企業(yè)目前暫不具備量產(chǎn)KrF以上的光刻膠的能力。而韓國(guó)的半導(dǎo)體制造工廠的技術(shù)最高已經(jīng)達(dá)到7nm，三星電子和SK海力士均有ArF和EUV光刻機(jī)設(shè)備。目前，在全球范圍內(nèi)能生產(chǎn)ArF光刻膠的企業(yè)主要以日美兩國(guó)企業(yè)為主，Euv光刻膠還在研發(fā)階段。如果日韓兩國(guó)的關(guān)系沒(méi)有及時(shí)得到修復(fù)，庫(kù)存的材料用盡，新的材料又尚未走完審核流程的這段時(shí)間里，三星電子和SK海力士的一些產(chǎn)線將面臨停擺的風(fēng)險(xiǎn)。
日前，SK海力士發(fā)言人對(duì)媒體表示，如果兩國(guó)之間的問(wèn)題得不到妥善的解決，且不能追加半導(dǎo)體材料采購(gòu)，未來(lái)或?qū)⒊霈F(xiàn)停產(chǎn)的情況。而在這個(gè)空缺期，美系光刻膠企業(yè)是否能成為韓系半導(dǎo)體廠商的“續(xù)命丹”？
美國(guó)陶氏化學(xué)具備量產(chǎn)市面上全線光刻膠產(chǎn)品的能力，韓國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)在被日本限制出口之后，它或?qū)⒊蔀樽罴堰x擇。不過(guò)，與眾多日系光刻膠企業(yè)相比，陶氏化學(xué)的產(chǎn)能能否滿足韓國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)的需求，還是個(gè)問(wèn)題。
值得注意的是，韓國(guó)在日本宣布對(duì)其限制進(jìn)口之后才明確表示加大對(duì)半導(dǎo)體材料的研發(fā)力度，相信在韓方有所成績(jī)之前，該國(guó)的半導(dǎo)體廠商依舊需要購(gòu)買(mǎi)日方的材料。此前三星電子和SK海力士的光刻膠材料主要有日本企業(yè)供應(yīng)，如果在這個(gè)節(jié)點(diǎn)轉(zhuǎn)向美系企業(yè)是否會(huì)順利？國(guó)際電子商情將持續(xù)關(guān)注。
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