“中芯國際北京廠經(jīng)過5年多的努力,幫助國內(nèi)裝備、材料及零部件企業(yè)實現(xiàn)了技術(shù)成果的產(chǎn)業(yè)化,逐步打破國外廠商的技術(shù)封鎖和壟斷。”當中芯北方集成電路制造(北京)有限公司總經(jīng)理張昕在日前于寧波北侖舉辦的“中國半導體材料及零部件發(fā)展2017年會”上說出上述一番話時,與會的國內(nèi)300多名半導體材料及零部件供應商代表的臉上無不流露出興奮的神情,曾經(jīng)是國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈最弱環(huán)節(jié)的國產(chǎn)材料和零部件,終于可以堂而皇之地進入下游集成電路制造企業(yè)了。電子實驗模塊
國產(chǎn)半導體材料產(chǎn)業(yè)增長態(tài)勢明顯
材料和零部件作為半導體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán),在整個產(chǎn)業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著重要的基礎(chǔ)性支撐作用。近年來,國家和企業(yè)不斷加大在半導體材料領(lǐng)域的投入,資料顯示,2015-2016年兩年累計研發(fā)投入38.3億元,是2005-2009年5年間年均投入的7.1倍;2015-2016年兩年累計產(chǎn)業(yè)發(fā)展投入41.5億元,已達到前5年總體投入的1/2。
集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟秘書長石瑛介紹說,由于持續(xù)的投入及不斷創(chuàng)新,近年來,中國半導體制造材料產(chǎn)業(yè)保持持續(xù)增長態(tài)勢。2008年之前,8~12英寸晶圓制造材料幾乎100%依賴進口,到2016年年底,F(xiàn)AB廠單廠采購比例超過50%的材料品種已達27種,其中包括電子氣體、CMP拋光液、靶材、光刻膠、工藝化學品及硅片。2016年,中國半導體材料企業(yè)銷售收入達到256億元。預計2018年后,中國將成為全球第三大市場。
“到2020年,我國半導體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)?;?、集聚化發(fā)展態(tài)勢將基本形成,同時也將建成較為完善的新材料標準體系,形成一批具有國際影響力的新材料公司。到2021年,國內(nèi)半導體材料市場規(guī)模將突破1200億元,其中300mm產(chǎn)能的材料市場將超過70%,小于20納米工藝的材料市場將超過30%。本地材料市場占有率將超過50%,部分材料將進入國際材料采購體系。”這些數(shù)據(jù),對石瑛來說早已了然于胸。
加快本地供應鏈形成 上下游企業(yè)展開合作
材料供應鏈的本土化,不僅有利于制造成本的控制、服務的快速及時響應、技術(shù)的安全可控,它所形成的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應好處更多。
石瑛介紹說,目前,我國在集成電路制造用硅材料、掩模、電子氣體、工藝化學品、光刻膠、拋光材料、靶材、封裝材料領(lǐng)域已經(jīng)有一批相關(guān)的企業(yè),也擁有生產(chǎn)這些材料的有色金屬、有機、無機化工等礦產(chǎn)資源優(yōu)勢,關(guān)鍵基礎(chǔ)原材料的品質(zhì)提升也逐漸進入行業(yè)視線。
張昕提供的數(shù)據(jù)對石瑛的介紹進行了詮釋:“截至目前,在國產(chǎn)化設備方面,中芯國際北京廠國產(chǎn)化工藝占比15.6%;在國產(chǎn)材料領(lǐng)域,采購比例達到11.3%;在國產(chǎn)零部件領(lǐng)域,采購比例達到16.2%。”
然而,進入集成電路制造企業(yè)供應鏈是一個漫長而系統(tǒng)的工作,即使國內(nèi)半導體材料企業(yè)已經(jīng)有了替代產(chǎn)品,但若客戶不了解,就不會使用。因此,與會代表建議,半導體材料及零部件企業(yè)要在品質(zhì)、物流等管理上和客戶保持一致,還要讓上游企業(yè)的工程、技術(shù)、質(zhì)量等部門與下游客戶全方位對接,尊重客戶每個部門的意見和建議。他們希望上游供應商和下游制造企業(yè)進行彈性合作、戰(zhàn)略合作,下游制造企業(yè)能夠定期指導工作。同時,國內(nèi)材料企業(yè)也能和客戶共同開發(fā)新產(chǎn)品和新配方。
引導行業(yè)整合和國內(nèi)外并購發(fā)展
通過并購方式加快企業(yè)自身的發(fā)展速度,從而帶動整個材料業(yè)的發(fā)展,也是近年來國內(nèi)半導體材料產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出的新特點。
石瑛給記者羅列了以下幾個成功案例:
2014年5月,上海新傲與法國Soitec公司結(jié)成合作伙伴關(guān)系,在中國提供一流的SOI晶圓制造能力,并面向全球為Soitec生產(chǎn)200mm SOI晶圓片。未來雙方將繼續(xù)擴大合作范圍,發(fā)揮協(xié)同優(yōu)勢,在中國建立SOI生態(tài)系統(tǒng)。
2016年8月,雅克科技收購韓國UP Chemical的100%股權(quán),生產(chǎn)CVD/ALD前驅(qū)體;2017年10月收購成都科美特特種氣體有限公司90%股權(quán),主要生產(chǎn)六氟化硫和四氟化碳。
2017年3月,巨化集團收購德國漢高集團環(huán)氧模塑料業(yè)務100%股權(quán)以及相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)、著名商標、研發(fā)資產(chǎn)和海內(nèi)外營銷渠道。
石瑛表示,跨國兼并重組不但可以吸收國際先進技術(shù),擁有業(yè)內(nèi)著名品牌,更可以在很大程度上提高國內(nèi)半導體材料企業(yè)在人才、技術(shù)、質(zhì)量、服務方面的競爭力。
與會不少代表表示,他們希望通過集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟尋找合適的國際企業(yè)進行合作,如通過技術(shù)培訓的方式,學習國外公司先進的生產(chǎn)技術(shù)和管理經(jīng)驗,從而進行產(chǎn)品更新、結(jié)構(gòu)調(diào)整、品質(zhì)提升、營銷創(chuàng)新和售后服務的升級。
政策引導 打造企業(yè)發(fā)展資本通道
雖然國內(nèi)半導體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展近來漸入佳境,但未來的路仍充滿荊棘。本次會議,演講嘉賓說得最多的一個詞是“情懷”,默默耕耘在這個領(lǐng)域的企業(yè)家不愿放棄這個陣地,但僅靠情懷又無濟于事。
為此,他們呼吁,國內(nèi)材料和零部件企業(yè)應該開展合作,優(yōu)勢互補,共同攻關(guān)。同時,國家也應出臺相關(guān)政策,鼓勵下游制造企業(yè)積極使用國產(chǎn)材料和零部件,在生產(chǎn)線上配置一定比例的國產(chǎn)材料和零部件。安集微電子(上海)有限公司董事長兼首席執(zhí)行官王淑敏表示,目前國家針對材料企業(yè)有一些優(yōu)惠政策,但申請、審批流程很繁瑣,應該減少中間環(huán)節(jié)。也有企業(yè)代表建議成立公共的檢測平臺,政府適當補貼平臺的運行。
任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都離不開資金的支持,技術(shù)密集型的半導體材料產(chǎn)業(yè)更是如此。
為此,集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟發(fā)起設立了盛芯材料產(chǎn)業(yè)投資基金,致力于成為我國集成電路材料領(lǐng)域的行業(yè)引導基金?;鹨黄谝延诮赵O立完成,規(guī)模為2億元,出資人包括業(yè)內(nèi)四家上市公司(浙江巨化、南大光電、上海新陽、金力泰),以及具有集成電路業(yè)內(nèi)豐富投資經(jīng)驗的寧波芯空間。
石瑛強調(diào),盛芯基金將依托產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新聯(lián)盟豐富的企業(yè)資源和產(chǎn)業(yè)鏈合作優(yōu)勢,結(jié)合戰(zhàn)略合作伙伴廣泛的海外資源及02專項和國家相關(guān)科技計劃產(chǎn)業(yè)化項目庫資源,海內(nèi)外多渠道廣泛收集項目源,推動圍繞國內(nèi)優(yōu)勢企業(yè)的產(chǎn)業(yè)整合。截至目前,基金一期投資業(yè)務已有序展開,已儲備十余個擬投資項目。